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UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統是表面缺陷檢測的蕞完善的國產化替代產品，系統包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數據：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；其提供了自適應數據采集控制，創新地利用測量評估結果匹配多傳感融合測量技術以保證檢測準確與穩定，系統可蕞大程度的替代進口缺陷檢測設備，具有很高的經濟效益。
目前可定制的缺陷類型：
邊緣缺陷檢測：崩邊、缺角
切割槽深度與寬度檢測
切割缺角、豁口檢測
切割槽多余材料堆積
引線鍵合質量檢測
焊點質量檢測
